2022年5月27日，廣東省真空學會根據(jù)《廣東省真空學會團體標準管理辦法》規(guī)定，批準發(fā)布T/GVS 006—2022《半導體射頻電源和微波電源的輸出偏差穩(wěn)定性測量方法》團體標準，標準于2022年5月27日起實施。

《半導體射頻電源和微波電源的輸出偏差穩(wěn)定性測量方法》規(guī)定了半導體射頻電源和微波電源的輸出偏差穩(wěn)定性測量方法的術語和定義、符號和縮略語、總則、測試條件、測試要求。該標準適用于電氣工作頻率在100 kHz～3 GHz的半導體裝備用射頻電源和微波電源產(chǎn)品。

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