2022年7月11日，廣東省真空學(xué)會(huì)根據(jù)《廣東省真空學(xué)會(huì)團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)管理辦法》規(guī)定，批準(zhǔn)發(fā)布T/GVS 007—2022《射頻電源動(dòng)態(tài)阻抗測(cè)試方法》團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)，標(biāo)準(zhǔn)于發(fā)布之日起實(shí)施。

《射頻電源動(dòng)態(tài)阻抗測(cè)試方法》規(guī)定了射頻電源動(dòng)態(tài)阻抗測(cè)試方法的術(shù)語和定義、原理、測(cè)試環(huán)境條件、儀器設(shè)備、測(cè)試方法、測(cè)試報(bào)告。該標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體刻蝕、薄膜沉積等應(yīng)用場合中，輸出頻率0.2 MHz～100 MHz的射頻電源動(dòng)態(tài)阻抗測(cè)試。

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